Mikroskoptische

Probentische für Mikroskope

Es kommt überraschend häufig vor, dass geeignete Tische für neue oder spezielle Applikationen in der Raster-Elektronenmikroskopie benötigt werden. Wir fertigen Einzelstücke oder eine Kleinserie für Ihren individuellen Bedarf. Unsere besondere Stärke liegt darin, auch ausgefallene und schwierige Tische für die Mikroskopie herzustellen.

Mikroskoptische

Das ZRT-Modul ersetzt den original ZRT-Tisch des Zeiss-Mikroskops.
Es ermöglicht eine Rotation um 360°, eine Kippung (Tilt) um bis zu 90° und eine lineare Bewegung bis zu 30 mm.
Neben dem erweiterten Z-Hub unterscheidet sich das Modul vom Originaltisch vor allem in der größeren Tragfähigkeit (maximal 2.5 kg).

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Probentische mit Piezoantrieb

Geeignet für unterschiedlichste Anwendungen, wie zum Beispiel Fehleranalysen und Messungen von Halbleiterbauelementen, Probenpositionierungen oder Mikromanipulationen.
Hochpräzise Positionierung mit einer Stellgenauigkeit von 10 nm bei Verfahrgeschwindigkeiten zwischen 4mm/s und 1nm/s.

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Piezotische K&W

Die verbauten Piezoantriebe ermöglichen ein genaues Verfahren und Positionieren.
Bewegungsauflösung: < 10 nm
Geschwindigkeit: 4000 μm/sek. bis 0,001 μm/sek.

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Blendenschieber

Das XY-Modul eignet sich zur Positionierung von Bauelementen oder Proben.
Jede Probe kann über einen eigenen Kreuztisch in x- und y- Richtung beliebig verfahren werden.
Die Kreuztische sind auf einer Grundplatte befestigt, die wie eine große Probe auf den Probentisch des Mikroskops gesetzt wird.

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Mikroskoptische

Das ZRT-Modul ersetzt den original ZRT-Tisch des Zeiss-Mikroskops.
Es ermöglicht eine Rotation um 360°, eine Kippung (Tilt) um bis zu 90° und eine lineare Bewegung bis zu 30 mm.
Neben dem erweiterten Z-Hub unterscheidet sich das Modul vom Originaltisch vor allem in der größeren Tragfähigkeit (maximal 2.5 kg).

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Probentische mit Piezoantrieb

Geeignet für unterschiedlichste Anwendungen, wie zum Beispiel Fehleranalysen und Messungen von Halbleiterbauelementen, Probenpositionierungen oder Mikromanipulationen.
Hochpräzise Positionierung mit einer Stellgenauigkeit von 10 nm bei Verfahrgeschwindigkeiten zwischen 4mm/s und 1nm/s.

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Piezotische K&W

Die verbauten Piezoantriebe ermöglichen ein genaues Verfahren und Positionieren.
Bewegungsauflösung: < 10 nm
Geschwindigkeit: 4000 μm/sek. bis 0,001 μm/sek.

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Blendenschieber

Das in dieser Bedienungsanleitung beschriebenen XY-Modul eignet sich zur Positionierung von Bauelementen oder Proben.
Jede Probe kann über einen eigenen Kreuztisch in x-, und y- Richtung beliebig verfahren werden.
Die Kreuztische sind auf einer Grundplatte befestigt, die wie eine große Probe auf den Probentisch des Mikroskops gesetzt wird.

Mikroskoptische

Probentische für Mikroskope

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Probentische mit Piezoantrieb

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Piezotische K&W

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Blendenschieber

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Piezotische K&W

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Blendenschieber

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