Quality Made in Germany since 1995

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Manipulatoren

Manipulators

Die elektrische Halbleiterprüfung mit mikroskopischer Unterstützung ist aus der Qualitätskontrolle ebensowenig wegzudenken, wie aus der Forschung. Insbesondere der Bereich „IC Test“ verlangt nicht nur höchste mechanische Präzision, sondern auch nach immer neuen Instrumenten für Qualitätsprüfung und Forschung.

Prober

  • Elektrische Messungen auf IC-Strukturen, Potentialkontrast, Aufspüren von Defekten.
  • Optionen: Software Betrieb und Versuche bei hohen oder niedrigen Temperaturen. Eingebaute Piezotranslatoren erhöhen die Stellgenauigkeit auf 10 nm inklusive piezo-gesteuertem, extrem schonenden Aufsetzen.
  • Optimale Platzierung in der Probenkammer der ”FEI 986 FC” FIB.
  • Positioniergenauigkeit von 1μm unter Sichtkontrolle.

Datenblatt Download

Elektrostatische Strahlaustastung

  • Angepasst an die Anforderungen an die Zeitauflösung des Schaltvorganges in der Elektronenstrahl-Lithographie.
  • Optimiert auf kürzeste Rise Time-Werte.
  • Garantiert „100 psec rise time“, tatsächlich gemessen wurden zwischen 50 und 35 Pikosekunden.
  • 40 KeV Primärstrahlenergie können noch mit 5 V Pulsen voll ausgetastet werden.

Datenblatt Download

Lift-out-Tool

  • Verwendung, um eine Nadel auf einer Probenoberfläche zu positionieren und aufzusetzen, während sie von einem Rasterelektronenmikroskop beobachtet wird.
  • Montage mit einem Adapter an der Decke der Vakuumkammer.
  • Drei orthogonale Bewegungsrichtungen für die Nadel (xyz) sowie Rotation um die eigene Achse.
  • Hochvakuumtaugliche Eigenschaften, Antrieb über Vakuumführung.

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Prober

  • Elektrische Messungen auf IC-Strukturen, Potentialkontrast, Aufspüren von Defekten.
  • Optionen: Software Betrieb und Versuche bei hohen oder niedrigen Temperaturen. Eingebaute Piezotranslatoren erhöhen die Stellgenauigkeit auf 10 nm inklusive piezo-gesteuertem, extrem schonenden Aufsetzen.
  • Optimale Platzierung in der Probenkammer der ”FEI 986 FC” FIB.
  • Positioniergenauigkeit von 1μm unter Sichtkontrolle.

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Elektrostatische Strahlaustastung

  • Angepasst an die Anforderungen an die Zeitauflösung des Schaltvorganges in der Elektronenstrahl-Lithographie.
  • Optimiert auf kürzeste Rise Time-Werte.
  • Garantiert „100 psec rise time“, tatsächlich gemessen wurden zwischen 50 und 35 Pikosekunden.
  • 40 KeV Primärstrahlenergie können noch mit 5 V Pulsen voll ausgetastet werden.

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Lift-out-Tool

  • Verwendung, um eine Nadel auf einer Probenoberfläche zu positionieren und aufzusetzen, während sie von einem Rasterelektronenmikroskop beobachtet wird.
  • Montage mit einem Adapter an der Decke der Vakuumkammer.
  • Drei orthogonale Bewegungsrichtungen für die Nadel (xyz) sowie Rotation um die eigene Achse.
  • Hochvakuumtaugliche Eigenschaften, Antrieb über Vakuumführung.

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