Elektrische Messungen auf IC-Strukturen, Potentialkontrast, Aufspüren von Defekten.
Optionen: Software Betrieb und Versuche bei hohen oder niedrigen Temperaturen. Eingebaute Piezotranslatoren erhöhen die Stellgenauigkeit auf 10 nm inklusive piezo-gesteuertem, extrem schonenden Aufsetzen.
Optimale Platzierung in der Probenkammer der ”FEI 986 FC” FIB.
Positioniergenauigkeit von 1μm unter Sichtkontrolle.
Datenblatt Download
Prober
Elektrische Messungen auf IC-Strukturen, Potentialkontrast, Aufspüren von Defekten.
Optionen: Software Betrieb und Versuche bei hohen oder niedrigen Temperaturen. Eingebaute Piezotranslatoren erhöhen die Stellgenauigkeit auf 10 nm inklusive piezo-gesteuertem, extrem schonenden Aufsetzen.
Optimale Platzierung in der Probenkammer der ”FEI 986 FC” FIB.
Positioniergenauigkeit von 1μm unter Sichtkontrolle.
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