Quality Made in Germany since 1995

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操纵器

Manipulators

在质量控制和研究中,使用显微镜进行电子半导体测试同样不可或缺。特别是在集成电路测试”领域,不仅需要最高的机械精度,还需要不断推出用于质量测试和研究的新仪器。

探针

  • 集成电路结构的电气测量、电位对比、缺陷检测。
  • 可选件:软件操作和高温或低温测试。内置压电平移器可将定位精度提高到10nm,包括压电控制的极平缓定位。
  • 在“FEI 986 FC” FIB样品仓的最佳放置位置。
  • 目测定位精度为1µm

下载参数表

光束消隐器

  • 适应电子束光刻技术中开关过程的时间分辨率要求。
  • 针对最短上升时间值进行了优化。
  • 保证“100psec粒子数增长时间”,实际测量值为5035psec
  • 40KeV主光束能量仍然可以用5V脉冲进行完全扫描。

下载参数表

提升工具

  • 用于在扫描电子显微镜观察试样时,在试样表面定位和放置针头。
  • 用适配器安装在真空室的顶部。
  • 针的三个正交运动方向(xyz)和绕自身轴线的旋转。
  • 用于高真空环境通过真空导轨驱动。

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探针

  • 集成电路结构的电气测量、电位对比、缺陷检测。
  • 可选件:软件操作和高温或低温测试。内置压电平移器可将定位精度提高到10nm,包括压电控制的极平缓定位。
  • 在“FEI 986 FC” FIB样品仓的最佳放置位置。
  • 目测定位精度为1µm

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Eine Nahaufnahme eines mechanischen Präzisionsgeräts mit mehreren Metallkomponenten, darunter Hebel und Zahnräder, die auf einer flachen, rechteckigen Basis montiert sind. Das Manipulatorengerät scheint für komplizierte mechanische Operationen konstruiert zu sein und weist eine symmetrische Anordnung auf.

光束消隐器

  • 适应电子束光刻技术中开关过程的时间分辨率要求。
  • 针对最短上升时间值进行了优化。
  • 保证“100psec粒子数增长时间”,实际测量值为5035psec
  • 40KeV主光束能量仍然可以用5V脉冲进行完全扫描。

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Ein metallisches mechanisches Bauteil mit verschiedenen zylindrischen Abschnitten und Verbindungsstücken, das einen strukturierten Griff und eine hervorstehende Stange mit geriffelter Oberfläche aufweist. Die polierte Oberfläche lässt vermuten, dass es sich um einen Teil von Robotermanipulatoren handeln könnte, die in einer größeren Maschine oder einem größeren Gerät verwendet werden.

提升工具

  • 用于在扫描电子显微镜观察试样时,在试样表面定位和放置针头。
  • 用适配器安装在真空室的顶部。
  • 针的三个正交运动方向(xyz)和绕自身轴线的旋转。
  • 用于高真空环境通过真空导轨驱动。

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Eine Nahaufnahme einer präzisen mechanischen Baugruppe mit einem goldfarbenen Hebelarm, der an ein Aushebewerkzeug erinnert und mit einer detailreichen Metallbasis mit mehreren Scharnieren und beweglichen Teilen verbunden ist. Die Baugruppe steht auf einer Metallmontageplatte mit vier Schraubenlöchern.

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