XY Kreuztisch

Hochpräziser Linear-Kreuztisch (X,Y) mit Piezoantrieben
Das hier beschriebene Kreuztischmodul vereint den Bedarf nach kleinen Antriebseinheiten mit hoch präzisen Stelleigenschaften für Mikroskopie- anwendungen an Luft oder im Vakuum. Linearencoder erlauben die Positionserfassung der einzelnen Achsen bis in den sub-μ-Bereich. Die orthogonal zueinander angeordneten Bewegungsachsen ermöglichen ein ermüdungsfreies und intuitives Arbeiten mit mikroskopisch kleinen Stellwegen bei höchster Präzision.
Der typische max. Verfahrweg beträgt 20 × 20mm2. Der Geschwindigkeits- bereich der Piezomotoren reicht von 4 mm/sek. bis zu wenigen 1/10 nm/sek. und eröffnet somit eine nahezu unbegrenzte Anwendungsvielfalt.
Aufgrund der extrem kompakten Bauweise ist das Modul einzeln oder in Kombination mehrerer Module einsetzbar. Eine 19' μ-Prozessoreinheit kann bis zu zwölf 3-achsige Kreuztischmodule steuern. Durch den integrierten CAN-Bus ist es möglich, die Steuerung auf bis zu 30 Steuerungsmodule (je X, Y und Z!) zu erweitern.
Das Kreuztischmodul ist einfach auf dem Standard-Probentisch eines REM oder LM zu montieren und kann mit nahezu allen handelsüblichen REM oder LM betrieben werden.
Typische Anwendungsgebiete liegen im Bereich der Forschung und Entwicklung, für Anwendungen der Bio-Technik, DNA-Forschung, neuer Materialien, Kohlenstoffröhrchen (CNTs), Halbleiter (ICs) usw.:
  • Feinste Probenpositionierung unter Sicht- oder Koordinaten- kontrolle
  • Mikromanipulation durch zusätzliche Greifer, Pinzetten, Injektoren etc.
  • Fehleranalyse durch Messung elektrischer Kenndaten mittels feinster Messspitzen
  • u.v.m.
Spezifikation:
  • Materialien: Aluminium, Edelstahl, Keramik
  • Baugröße in mm (L×B×H): ∼ 40×40×22 (XY-Modul), ∼ 40×54×35 (XYZ-Modul)
  • Verfahrbereich in mm: 20×20 (XY-Modul), 20×20×20 (XYZ-Modul)
  • Bewegungsauflösung: < 10 nm
  • Geschwindigkeit: 4000 μm/sek. - 0,001 μm/sek.
  • Positionsmessung: Linearencoder
  • Steuerung: μ-Prozessorsteuerung, Joystick, PC-Software
  • Gehäuse: 19'
  • Max. Steuerungsmodule pro Gehäuse: 12
  • Erweiterbar: per CAN-Bus; max. 30 Steuermodule (je XYZ)
Im Lieferumfang enthalten sind:
  • Kreuztischmodul (2-achsig oder 3-achsig)
  • Adapter zur Aufnahme auf den Probentisch des REM, LM o.ä.
  • Flansch mit Stromdurchführung
  • 3-Achsen-Joysticksteuerung oder 19' μ-Prozessorsteuerung inkl. Joystick
  • interne und externe Verkabelung

XY Kreuztisch

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