Großkammertisch

Für besonders große Prüflinge und Zusatzgerät ("Module"), mit 12' (300mm) Verfahrweg
Diese Probentisch-Serie wurde für die Aufnahme größerer Proben oder Tischaufsätze ("Module") entwickelt. Sie ist für eine Reihe von Rasterelektronenmikroskopen verfügbar. Hier wird unterschieden zwischen kartesischen und kipp-exzentrischen (s. Foto) Tischgeometrien. Der größte noch einspannbare oder völlig abfahrbare Probentisch-Aufsatz oder Wafer wird durch die Geometrie der Probenkammer bzw. darin befindliche Störkonturen begrenzt.
Der hier gezeigte Probentisch kann mit wenigen Handgriffen gegen den Standard-Tisch des REM-Herstellers ausgetauscht werden.
Steuerungen mit Schrittmotoren oder Gleichstrom-Tacho-Motoren mit optischen Encodern auf Anfrage.
Wege: X und Y = je 150 mm, Z = 40 mm, Rotation unbegrenzt, Kippung horizontal bis 60 Grad. Weitere Verfahrwege oder Gewichtsklassen auf Anfrage.
Die Kippachse liegt 5 mm oberhalb der Probeaufnahme. Bei ebenen Proben geringer Dicke bleibt somit noch ausreichend Platz, z.B. für eine Schnellspann-Haltevorrichtung. Es kann ausgenutzt werden, dass bei geschickter Montage planparalleler Prüflinge beim Verfahren in X und Y die Beobachtungsstelle immer in der Kippachse, d.h. im Fokus bleibt.
Siehe auch:

Großkammertisch

Großkammertisch

Dortmund Skyline