Probentisch für große Proben

Diese Probentisch-Serie wurde für die Aufnahme größerer Proben oder Tischaufsätze ("Module") entwickelt. Sie ist für eine Reihe von Rasterelektronenmikroskopen verfügbar. Hier wird unterschieden zwischen kartesischen und kipp-euzentrischen (s. Foto) Tischgeometrien. Der größte noch einspannbare oder völlig abfahrbare Probentisch-Aufsatz oder Wafer wird durch die Geometrie der Probenkammer bzw. darin befindliche Störkonturen begrenzt.
Der hier gezeigte Probentisch kann mit wenigen Handgriffen gegen den Standard-Tisch des REM-Herstellers ausgetauscht werden. Steuerungen mit Schrittmotoren oder Gleichstrom- bzw. Tacho-Motoren mit optischen Encodern auf Anfrage.
Wege: X und Y = je 100 mm, Z = 20 mm, Rotation unbegrenzt, Kippung horizontal bis 60 Grad. Andere Wegbereiche auf Anfrage.
Die Kippachse liegt 5 mm oberhalb der Probenaufnahme. Bei ebenen Proben geringer Dicke bleibt somit noch ausreichend Platz z.B. für eine Schnellspann-Haltevorrichtung. Es kann ausgenutzt werden, dass bei geschickter Montage planparalleler Prüflinge beim Verfahren in X und Y die Beobachtungsstelle immer in der Kippachse, d.h. im Fokus bleibt.
Wir weisen ausdrücklich darauf hin, dass wir diese Probentische für nahezu alle Arbeitsbereiche zur Verfügung stellen, ausgenommen sind "Defect Review" und "Elektronenstrahl-Lithographie" der Raith GmbH. Wir stellen in diesen Fällen gern für Sie die Verbindung zu Ihren Ansprechpartnern her.

 Probentisch für große Proben

Probentisch für große Proben

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