Transfer Modul

für den sicheren Transport zwischen REM und Handschuh-Kästen (glove box)

Transfer Modul System

Kurzbeschreibung

Häufig werden zu untersuchende Proben in sog. „Handschuh-Kästen“ präpariert und dürfen nach der Präparation nicht mehr mit der Umgebung in Kontakt kommen, da ggf. Reaktionen mit Sauerstoff, Wasser oder Staub zu erwarten sind und die vorherige Präparation ad absurdum führen würden. Um solche Proben z.B. in einem Rasterelektronenmikroskop untersuchen zu können, stellt sich nun die Frage, wie der Transfer von der „Glove box“ in die Vakuumkammer des REM erfolgen kann, ohne mit der Umgebungsluft / Feuchtigkeit in Berührung zu kommen. Hier setzt das im Folgenden beschriebene Transfermodul an.

Im Lieferumfang ist die Transfervorrichtung, eine Steuerelektronik mit allen Kabeln und zwei Vakuum Durchführungsflansche enthalten. Das Einsetzen der Vorrichtung geschieht bei ausgefahrenem Probentisch, in gleicher Weise wie das Einsetzen einer normalen Probe. Nach dem Aufschieben auf den Probenhalter wird ein Kabelbaum (vom Vakuumflansch an der Kammerwand kommend) an die Transfereinheit angeschlossen. Um die Proben ohne Kontakt mit der Raumluft von der Schutzgaskammer („Glove Box“) in das REM zu transportieren und dort erst während des Evakuierens zugänglich zu machen, wurde eine dicht verschließbare Vorrichtung konstruiert, die optional auch mit einer Heiz- oder Heiz-Kühleinrichtung ausgestattet werden kann. Diese Vorrichtung kann wahlweise einen großen oder mehrere kleine REM-Probenteller aufnehmen. Auf diesen Probentellern sind die Proben unter Schutzgas befestigt.

Nach dem Einbringen in die Probenkammer wird der Evakuierungsvorgang gestartet, und bei Annähern an das Endvakuum, der Deckel motorisch geöffnet. Die Geschwindigkeit der Deckelbewegung lässt sich über einen weiten Bereich einstellen. Das Öffnen und Schließen des Deckels erfolgt über eine kleine Tischsteuerung, die Teil des Lieferumfangs ist.

Heizung / Kühlung (Option)

Optional kann eine Heiz-/ Kühleinheit für verschiedene Temperaturbereiche integriert werden. (Umbau beim Hersteller) Sobald das Transfermodul mit einer Heizung ausgestattet ist, reduziert sich die Anzahl der einbaubaren Proben auf EINS (10x10mm²) Mit oder ohne diesen Zusatz, kann das Modul um einen bestimmten Betrag gekippt werden. Der erreichbare Kippwinkel ist abhängig vom Arbeitsabstand oder Störkonturen im REM, sowie von der Konsistenz der Probe z.B. flüssig, pulverförmig, fest.)

Spezifikationen

Das Transfer-Modul

Das Transfer-Modul wird vergleichbar einer größeren Probe auf dem REM-Probentisch montiert. Geeignet sind fast alle Montageformen der verschiedenen REM Hersteller in Abhängigkeit der Kammergeometrie. Die Vakuumdurchführung, und die Deckelsteuerung sind im Lieferumfang enthalten.

Maße ca. 120 x 80 x 40 mm3.

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Zusammenfassung der technischen Spezifikationen

     Modul

 Steuerung

Dimensionen
(LxBxH)

120 x 80 x 40 mm3

Dimensionen
(LxBxH)

200 x 145 x 70 mm3

Gewicht

ca. 1 kg (2.2 lb)

Gewicht

1 kg (2.2 lb)

Proben Größe

8x 12mm Ø 6mm hoch
oder
2x 25mm Ø 6mm hoch

Spannung

115 V/230 V/AC 50-60Hz

Änderungen vorbehalten.

Transfer Module

Transfer Modul Detail

Transfer module with 8 specimen

Transfer module with 2 specimen

Transfer module dimensions

Lid Controller small

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