Mikro-Zugmodul

Prüfgerät für den Mikrometerbereich

Den Antrieb zu dieser Entwicklung gab die Erkenntnis, dass viele Festkörper sich im µm-Bereich oft anders verhalten als in der Makrowelt.
Anwendungsbereiche: MEMS, Bonding-Technik, Kristallzüchtung u.v.a.m.
Bei diesem Gerät handelt es sich um einen Probentisch-Aufsatz ("Modul") für das REM, ebenfalls unter dem Lichtmikroskop verwendbar.
Es wurde konzipiert für mechanische Belastung, z.B. statische oder Wechselbelastung an kleinen und kleinsten Festkörpern. In aller Regel ist es schwierig, feine Drähte, Whisker oder Kapillaren, die auf Probenträgerplatten gezüchtet wurden, auf ihre Zugbelastbarkeit hin zu untersuchen, denn der Einspannvorgang entzieht sich der Geschicklichkeit der menschlichen Hand. Um Zugang zu feinen Haar- oder Drahtstrukturen zu erreichen, wurde ein piezo-gesteuerter Greifmechanismus entwickelt, mit einem Kreuztisch zusammen auf einer gemeinsamen Basis aufgebaut und mit einer Kraftmessung im µN-Bereich kombiniert. Dynamische Versuche sind mit einer Ermüdungsplattform ebenfalls möglich.

mzm_1

Die Flächen der dazu gehörigen "Mikropinzette" sind ungewöhnlich widerstandsfähig, um auch mineralische Objekte oder solche aus harten Metallen ohne Spuren fest halten zu können.

 

Abb.1: Mikro-Zugmodul

Abb.1: Mikro-Zugmodul

Abb.2: Mikro-Zugmodul

Abb.2: Mikro-Zugmodul

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