Elektrostatische Strahlaustastung

Schnelle elektrostatische Strahlaustastung (100 psec "Rise Time")
Bei der schnellen Stroboskopie im Potentialkontrast, EBIC, OBIC, und beim Ausmessen von Abklingverhalten von Kathodolumineszenz-Signalen ist schnellstes Schalten bei hohen Frequenzen erforderlich, während in der Elektronenstrahl-Lithographie die Anforderungen an die Zeitauflösung des Schaltvorganges bei weitem nicht so hoch sind. Das hier beschriebene Gerät wurde besonders auf kürzeste "Rise Time"-Werte hin optimiert und stellt das Ergebnis einer langjährigen Entwicklung dar. Die im Bild gezeigte "Beam Blanking" wurde auf höchste Frequenzen minimale Reflexionen optimiert.
Die Angabe "100 psec rise time" ist eine überaus komfortable Garantiezusage - gemessen wurden in den meisten Fällen bisher zwischen 50 und 35 psec.
Pulsfrequenzen bis an den Gigahertzbereich sind (gute Rechteck- Eingangspulse vorausgesetzt) bei 5-V-Steuerpulsen an den Blankerplatten und einer Primärenergie des Elektronenstrahles noch gut zu schalten.
Durch die sehr kurzen Platten (5,5 mm lang) sind Laufzeiteffekte innerhalb des Plattenbereichs nicht mehr nachweisbar. 40 Kev Primärstrahlenergie können noch mit 5 V Pulsen voll ausgetastet werden.
Das Adaptieren der Beam-Blanking an die Säule des REM muß in jedem Falle zunächst sichergestellt werden.
Bausätze existieren für die folgenden REM-Typen: ABT 55, Cambridge - nahezu alle älteren Geräte, CamScan S-4, Hitachi 2300 ... 2500, JEOL 840 ... 6400, Jeol T330, Leitz DSM 130, LEO 430 und 435, Philips 525, 535, TopCon 510, Zeiss 940, 960 und 962. Weitere auf Anfrage!

Abb.1: Der

Abb.1: Der "Stab"

Abb.2: Strahlaustastung an der Säule eines REM

Abb.2: Strahlaustastung an der Säule eines "LEO 430" REM

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