Manipulatoren

Die elektrische Halbleiterprüfung mit mikroskopischer Unterstützung ist aus der Qualitätskontrolle ebensowenig wegzudenken, wie aus der Forschung. Unsere besondere Stärke liegt darin, Testgeräte herzustellen für:

  • Prober-Module für die Raster-Elektronenmikroskopie,
  • Prober-Module für FIB(Focused Ion Beam)-Anwendungen, auch für die automatische Probenschleuse,
  • 10 nm Bewegungsauflösung,
  • 1 bis 6 Meßspitzen (in Sonderfällen mehr).
  • davon abgeleitete Sonderkonstruktionen.

Dazu gehören auch die immer komplexeren Steuerungen:

  • Extrem schnelle Strahlaustastung (Beam Blanking).

Vielfach werden diese Geräte miteinander kombiniert, z.B.:

  • Prober-Module mit 1 bis vier Nadeln, Heizung und Kühlung und Beam Blanking.

... gerade der Bereich "IC Test" verlangt nicht nur höchste mechanische Präzision, sondern drängt stürmisch nach immer neuen Instrumenten für Qualitätsprüfung und Forschung.

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