Heizmodul 800° C

Zur Beobachtung kleiner Proben bei hohen Temperaturen im Rasterelektronenmikroskop muß die Heizvorrichtung eine Reihe von Anforderungen erfüllen. Nach oben hin soll eine Öffnung sein, die je nachdem wie weit der Probentisch mit dem darauf befindlichen Heizmodul gekippt werden soll, größer oder kleiner ausgeführt ist. Der Wärmeübergang zur Tischmechanik sollte so gering wie möglich sein.
Dazu wurde der Heiz-Zylinder in eine Gabel mit drei Spitzen aufgenommen, und eine mehrlagige, reflektierende Isolierschicht sorgt für optimale Abschirmung. Die Widerstandsheizung ist in Form eines kleinen Bienenkorbes aus Keramik ausgeführt und hat eine Bohrung in der Mitte. Dort wird ein Metallzylinder als Probenhalter eingesteckt.
Diese Probenaufnahme kann verschiedene Formen haben - meist ist sie mit einer Vertiefung in der Mitte versehen. Plane Proben können mit kleinen Klammern aus Wolframdraht niedergehalten werden. Wichtig ist ebenfalls, daß keine Störungen durch elektrische Felder im Beobachtungsbereich die Abbildung verfälschen. Vakuumflansch und Befestigungsmechanik für die REM-Probenkammer werden mitgeliefert.
Spezifikationen: Standard Heizmodul 800° C
Temperatursteuerungen
Es kann gewählt werden zwischen "PID" und manueller Steuerung. Die PID-Steuerung berücksichtigt alle Heizungsparameter, und nach einer "Lern"-Routine, die nur einmal durchgeführt wird, kann die Geschwindigkeit der Heizung vorgewählt werden, und die Regelung trifft die Solltemperatur sofort und ohne Überschwingen. Die manuelle Heizung wird durch Bedienereingriff - Verstellen der Heizleistung bei gleichzeitiger Beobachtung der Temperatur - geregelt. Sie ist zwar langsamer und erfordert die Aufsicht des Operators, ist jedoch nach Erreichen der Solltemperatur sehr stabil.
Temperaturbereiche
RT bis 300, 500 oder 800 Grad, je nach gewünschter Bauweise. Verschiedene Probenmontage nach Absprache.
Montage des Moduls
Das Heizmodul lässt sich wie eine "große Probe" auf den REM-Probentisch montieren. Mit dem REM-Tisch läßt sich das gesamte Modul - ggf. mit aufgesetzten Nadeln - bewegen und auch um geringe Beträge neigen. Vorsicht bei verflüssigten Proben! Die Vakuumdurchführungen sind in der Lieferung enthalten.
Maße: Ca. 100 mm x 50 mm x 40 mm. Die Form der Grundplatte ist so geschnitten, daß beim REM die Kammertür ohne Berührung geöffnet wird. Das Ofenelement hat mehrere Lagen runder, reflektierender Abschirmfolien im Inneren und ist an drei Spitzen aufgehängt. Durch diesen Punktkontakt und die Abschirmungen wird der Wärmeübergang auf den Probentisch sehr gering gehalten.

Heizmodul für das REM

Heizmodul für das REM

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