Heizmodul 1050° C

Dieser Tischaufsatz (oder "Modul") für Heizexperimente (Raumtemperatur bis 1 050° C) wurde für das Arbeiten in REMs mit variablem Druck konstruiert. Es wird etwa wie eine große Probe auf dem Probentisch befestigt und in verschiedenen Bauformen - dem in der Kammer verfügbaren Freiraum angepaßt - geliefert.

Mit diesem Modul können Heizversuche unter korrosiver, bzw. Restatmosphäre gefahren werden. (KEIN Sauerstoff, KEINWasser!) Ein Nadelventil am Vakuumflansch erlaubt fein kontrollierte Zufuhr von Gas in die eigentliche Heizungskammer, während des Heizvorganges. Diese kleine Kammer kann mit einem motorangetriebenen Deckel unter Vakuum geöffnet und geschlossen werden, um die Umgebung während des Heizversuchs zu schützen. Werden Heizversuche bei sehr hohen Temperaruten gefahren, so sollte der Deckel geschlossen bleiben. Am Ende der Versuche wird der Deckel geöffnet, um die Auswirkungen auf der Probenoberfläche zu verfolgen.
Wird kein aggressives Gas während des Heizens zugeführt, so kann der Deckel während des gesamten Heizprozesses geöffnet bleiben, um die Veränderungen auf der Oberfläche zu verfolgen.
Im Inneren befindet sich ein gepacktes Keramik-Heizelement. Ein flacher Zylinder dient als Befestigungsebene; dort können alle möglichen gewünschten Formen zur Aufspannung eingearbeitet werden - z.B. flach oder muldenförmig. Scheibenförmige Proben bis 25 mm Durchmesser können mit kleinen Federn aus Wolfram befestigt werden. Das Heizelement im Inneren baut keine elektrischen Felder auf, die den Elektronenstrahl bei der Abbildung stören.
Vakuumflansch und Befestigungsteile gehören zum Lieferumfang.

Achtung:

Bitte vergewissern Sie sich VOR Beginn des Heizversuchs, dass ALLE Komponenten und Gase etc. für die beabsichtigten Temperaturen geeignet sind und keine unerwünschten Reaktionen hervorrufen können. Verwendete Materialien sind: Wolfram, Molybdän, AL2O3.

Temperatursteuerungen
Die PID-Temperatursteuerung (im Allgemeinen mit einem PC-Anschluß) regelt die für den Versuch gewünschten Parameter des Heizverhaltens. Nach Ablauf einer erstmaligen "Lern"-Routine, die nur einmal durchgeführt werden muß, kann die Heizrate gewählt werden. Die Steuerung findet die gewünschte Temperatur ohne Oszillationen, indem sie einer optimierten Zeit/Temperaturrampe folgt. Der Operator kann jederzeit eingreifen, um die Heizleistung zu ändern und anschließend die Veränderungen auf der Probenoberfläche Schritt für Schritt aufzuzeichnen.
Temperaturbereich
RT bis 300 °C, 500 °C, 800 °C oder 1 050 °C, je nach der gewünschten Ausführung. Verschiedene Methoden der Probenbefestigung, nach Absprache.
Montage des Moduls auf dem Probentisch des REM
Das Heizmodul wird, vergleichbar einer größeren Probe auf dem Spannring des Probentisches festgezogen. Geeignet sind fast alle Montageformen, z.B. die von Hitachi, JEOL, Zeiss ThermoFisher und TeScan. Lassen Sie uns Ihren REM Typ und Modell wissen.
Heizen unter Restgas
Einige REM erlauben das Arbeiten im schlechten Vakuum, bis zu einigen zehn Torr Gasdruck. Die Heizmodule der Versionen 300 und 500 Grad können sowohl bei vollem atmosphärischen Druck, als auch unter Vakuum eingesetzt werden. Höhere Temperaturen erfordern den "VP" (= "Variable Pressure")-Modus des REM, oder Vakuum.
Das abgebildete Modul (Abb.1) geht einen Schritt weiter: es kann eine Restatmosphäre geschaffen werden, indem gewisse Gase in die kleine "Kapsel" des Heizmoduls eingelassen werden. Das Einströmen wird durch ein kleines Nadelventil gesteuert, das sich an der Vakuumdurchführung auf dem Durchführungsflansch befindet. Ein dünnes Kapillarröhrchen führt das Gas in die Heizkammer. Alternativ kann durch diese Kapillare auch das beim Heizen entstehende Gas zur Analyse abgepumpt werden. Der gezeigte motorgetriebene Deckel verschließt dieses Arbeitsvolumen und gibt es, von außen gesteuert, wieder frei.
Maße: Ca. 65 mm x 55 mm x 38 mm. Die Form dieses Probentischaufsatzes is so gewählt, daß er beim Öffnen der Kammertür an keiner Stelle anstößt. Eine Vielzahl von Lagen aus Tantal dient als Reflektions- bzw. Abschirmfläche. Zur thermischen Isolierung ruht der heiße Teil des Moduls auf punktförmigen Auflagen. Zusammen mit den Abschirmfolien halten diese Punktkontakte den Wärmeabluß zum Probentisch hin in erträglichen Grenzen.
Weitere Produkte aus diesem Themenbereich
  • Mikromanipulatoren (Prober-Module) mit integrierten Heizungen 300 °C, 500 °C oder 800 °C. Feinverstellung der Prober-Nadel mit Auflösung von 1 µm oder 0,1 µm je nach Ausführung.
  • "Cryo-Tische" (Stickstoff und Helium)
  • "Cryo-Modul" als Tischaufsatz (Stickstoff).

Abb.1: Heizmodul für das REM

Abb.1: Heizmodul für das REM

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