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Heizmodul 300 °C
Heizmodul 300 °C
Das Foto zeigt den eigentlichen Tischaufsatz mit einem Stück von einem Wafer als Probe. In diesem Heizmodul können Proben bis zu einer Größe von ca 20 mm x 20 mm bei Temperaturen von Raumtemperatur bis 300 Grad im Rasterelektronenmikroskop betrachtet werden. Der Wärmeübergang zur Tischmechanik wurde so gering wie möglich gehalten.
Im Gegensatz zu vielen anderen Heizgeräten kann mit diesem Probentisch-Aufsatz auch an Luft bis zur vollen Temperatur geheizt werden.
Die Widerstandsheizung ist in Form eines metallischen Mäanders als dünne Lage zwischen zwei Scheiben aus pulvergepreßtem Glimmer ausgeführt. Diese Probenaufnahme kann verschiedene Formen haben - meist ist sie mit einer Vertiefung in der Mitte versehen. Plane Proben können mit kleinen Klammern aus Wolframdraht niedergehalten werden. Es wurde darauf geachtet, daß keine Störungen durch elektrische Felder im Beobachtungsbereich die Abbildung verfälschen.
Vakuumflansch und Befestigungsmechanik für die REM-Probenkammer werden mitgeliefert.
Eine 500°C-Version ist in äußerlich gleicher Form ebenfalls lieferbar.
Temperatursteuerungen
Es kann gewählt werden zwischen "PID" und manueller Steuerung. Die PID-Steuerung berücksichtigt alle Heizungsparameter, und nach einer "Lern"-Routine, die nur einmal durchgeführt wird, kann die Geschwindigkeit der Heizung vorgewählt werden, und die Regelung trifft die Solltemperatur sofort und ohne Überschwingen. Die manuelle Heizung wird durch Bedienereingriff - Verstellen der Heizleistung bei gleichzeitiger Beobachtung der Temperatur - geregelt. Sie ist zwar langsamer und erfordert die Aufsicht des Operators, ist jedoch nach Erreichen der Solltemperatur sehr stabil.
Temperaturbereiche
RT bis 300, 500 oder 800 Grad, je nach gewünschter Bauweise. Verschiedene Probenmontage nach Absprache.
Montage des Moduls
Das Heizmodul läßt sich wie eine "große Probe" auf den REM-Probentisch montieren. Mit dem REM-Tisch läßt sich das gesamte Modul bewegen und auch um geringe Beträge neigen. Vorsicht bei verflüssigten Proben! Die Vakuumdurchführungen sind in der Lieferung enthalten.
Maße: Ca. 100 mm x 60 mm x 40 mm. Die Form der Grundplatte ist so geschnitten, daß beim REM die Kammertür ohne Berührung geöffnet wird. Das Ofenelement hat mehrere Lagen runder, reflektierender Abschirmfolien im Inneren und ist an drei Spitzen aufgehängt. Durch diesen Punktkontakt und die Abschirmungen wird der Wärmeübergang auf den Probentisch sehr gering gehalten.
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Heizmodul für das REM
Heizmodul für das REM, Version "Sandkasten"